二手半导体设备NIKON NSR S204B分步投影光刻机出售

龙玺精密作为国内领先的二手半导体设备供应商，今日为您推荐半导体光刻领域的卓越设备——NIKONNSRS204B分步投影光刻机。尼康在光刻设备领域凭借数十年的技术积累，打造出众多性能顶尖的产品，NSRS204B更是以高精度和高稳定性，成为中高端半导体制造的得力助手。

技术特性上，NIKONNSRS204B采用先进的分步投影技术，曝光光源为KrF准分子激光（248nm），这一波长的光源能实现更精细的图案转移。其配备的高分辨率投影光学系统，数值孔径达0.63，分辨率可低至0.18μm，能精准刻画晶圆表面的细微电路图案。该光学系统经过特殊的像差校正处理，确保图案边缘清晰、线条均匀，减少了因光学畸变导致的图形偏差。同时，设备搭载的高精度对准系统，结合先进的图像识别技术与精密机械控制，晶圆与掩模版的对准精度控制在0.04μm以内，为多层光刻的精准叠加提供了坚实保障，让各层电路连接更可靠。

NIKONNSRS204B分步投影光刻机

NIKONNSRS204B分步投影光刻机

性能优势方面，NSRS204B效率与稳定性兼具。针对8英寸晶圆，每小时可处理超过100片（基于标准工艺），通过优化的晶圆传输路径和快速曝光流程，大幅缩短了单片光刻时间，提升了生产吞吐量，满足大规模量产需求。工艺重复性表现优异，多次光刻同一批次晶圆，图案尺寸偏差极小，误差控制在±2%以内，有效提高了产品良率。此外，设备兼容性强，能适配多种光刻胶和不同材料晶圆，包括硅晶圆和化合物半导体晶圆，为多样化生产提供便利。