
NIKONStepper2205i14E2光刻机搭载先进的ArF准分子激光光源(波长193nm),配合高精度投影光学系统,能够实现90nm及以上制程的光刻需求✨。其出色的分辨率与套刻精度,让复杂的电路......
NIKONStepper2205i14E2光刻机搭载先进的ArF准分子激光光源(波长193nm),配合高精度投影光学系统,能够实现90nm及以上制程的光刻需求✨。其出色的分辨率与套刻精度,让复杂的电路图案能够精准“复刻”到晶圆之上,套刻误差可控制在±35nm以内,有效保障芯片制造的良品率。
设备的曝光效率也十分惊人!采用步进式扫描曝光技术,每小时可处理晶圆达120片,极大提升了产线的光刻产能。同时,它还具备优秀的焦深控制能力,即使面对不同表面形貌的晶圆,也能确保曝光的均匀性和稳定性。
操作层面,NIKONStepper2205i14E2光刻机配备智能化的人机交互界面,工程师可轻松设置曝光剂量、扫描速度等关键参数,并支持多组工艺配方的存储与调用,方便快速切换不同光刻工艺。此外,设备内置的自动对焦和对准系统,能够快速精准地定位晶圆,减少人工干预,提升操作效率。
在适用场景上,这款光刻机覆盖范围广泛。无论是消费电子芯片、汽车电子芯片,还是传感器芯片的制造,它都能大展身手。从晶圆制造环节的电路图形转移,到芯片封装阶段的微小结构光刻,NIKONStepper2205i14E2都能凭借稳定且优异的性能,成为半导体企业降本增效的得力助手!
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