解密光刻机巨头ASML的发家史 | 钛媒体「锐对话」

北京时间10月15日，荷兰光刻机制造商阿斯麦（ASML）发布2020年第三季度业绩报告。财报显示，ASML该季营收达39.58亿欧元，较上年同期增长32.5%；净利润更是达到了10.62亿欧元，同比增加69.4%。

受此消息影响，ASML股价大涨，市值蹿升到1619亿美元（约1.02万亿人民币），创下历史新高。

在新冠疫情影响下，全球半导体行业低迷，英特尔、赛灵思等芯片巨头纷纷调低营收预期，但ASML却能逆势增长，继续稳坐光刻机设备领域的绝对霸主地位。

实际上，早在上个世纪80年代，ASML还只是飞利浦旗下的一家合资小公司。短短四十载，ASML用先进技术将昔日光刻机大国美国拉下神坛，并以迅雷不及掩耳之势，战胜日本光刻机巨头佳能、尼康，成为世界上唯一能够制造7nm及以下EUV（极紫外光刻）工艺的光刻机设备提供商。

雷吉梅克在连线直播中表示，四十年后的今天，人们应该意识到，ASML所创造的光刻机设备，以及引领的行业变局，对于全世界来说是一个奇迹。

光刻机，被誉为“皇冠上的明珠”，其主要包含特殊的光和玻璃，类似“投影仪+照相机”，以光为刀，将晶体管和设计好的电路图投射到硅芯片上。

尽管看起来比较简单，但光刻机的重要性在于，其是整个芯片制造产业先进工艺程度的核心指标。设备是制造芯片的“武器”，没有了光刻机设备，先进制造就无从谈起。

ASML制造的第一台光刻机就在此背景下诞生。

实际上，ASML的一部分前身是ASM，一家荷兰的从事半导体设备制造的科技公司；而另一部分前身是飞利浦，两家距离60英里。

当时，飞利浦品牌家喻户晓，该公司专注于投入电路技术研发，并没有自造光刻机想法。但一次内部定期讨论中，飞利浦半导体和材料部Elcoma与前沿技术研发实验室Natlab的技术团队，双方就掩膜技术先进性是否能生产芯片而争吵起来。随后达成约定——合作制造一台光刻机。

1967年，技术团队首次在飞利浦内部展示6镜头重复曝光光刻机的原型，实现该公司在光刻机领域零的突破。

不过，高层内部并不看好这一设备的商业化前景，因此光刻机研发停滞不前。

由于飞利浦资金状况非常糟糕，一直以来靠政府和银行补贴续命。1980年前后，该公司遇到经营危机，飞利浦希望放弃非核心业务，目标是把光刻机业务卖给领先的美国公司，或是卖给崛起中的日本光刻机公司。

而ASM的创始人德尔·普拉多一直希望寻找一个机会和飞利浦合作。当飞利浦SI的技术董事乔治·德·克鲁伊夫在看报纸的时候，读到了ASM的成功故事，对其十分感兴趣。在了解之后，发现德尔·普拉多还挺有钱的。

四年后的1984年，经过漫长的谈判，光刻机业务从飞利浦中独立，建立合资公司ASML。其中，飞利浦和MIP（一家私募股本基金）分别获得30%的股份，作为项目的主导者，ASM获得40%的股份，让这家荷兰电子制造商登上历史舞台。

在真正成功之前，飞利浦对ASML投资了超过1亿美元。

在锐对话连线直播中，雷吉梅克表示，尽管当时整个光刻机市场被美国GCA和尼康垄断，但在ASML成立的一开始，他们并不满足此时的技术研发成就，目标则是要“征服世界”。

在这样的雄心壮志下，ASML走上了快速发展的道路。

雷吉梅克表示，回顾过去40年ASML发展历程，ASML能够取得成功，主要有两个原因：一是由于台积电和英特尔两位”贵人“的支持，ASML能够成功研发并量产浸润式光刻机和EUV光刻机，企业快速崛起；另一方面，ASML会倾听客户的意见，让先进技术快速迭代，获得客户青睐。

最终，在激烈竞争、风云变幻的变局环境中，ASML战胜竞争对手取得成功，成为芯片产业不可缺少的一部分。

1、两位“贵人”

雷吉梅克在锐对话中称，其实ASML能够遇到这个“贵人”的主要原因，是由于台积电、飞利浦和ASML三家之间有密切的开发关系。

正因如此，台积电成为ASML遇到的第一个“贵人”。在技术、人才、资金方面持续加码，ASML快速蚕食光刻机市场份额，将昔日光刻机大国美国拉下马，与旧王者GCA平起平坐。

ASML的光刻机原型

随后，在巨大的产业推动下，另一家芯片巨头英特尔登场，该公司提出入股等需求，开始与ASML“绑定”，成为ASML的第二个“贵人”。

早在1997年，英特尔为了推动摩尔定律在未来几十年继续有效，联合政府、企业建立了芯片业最为顶级的EUVLLC前沿技术组织，研究、推动EUV这项技术发展。当然，ASML在这一组织成员名单其中，但尼康、佳能却排除在外。

在锐对话连线直播中，雷吉梅克形容，这一组织像是一个投资承诺，确定芯片生产商需要EUV光刻机，请更多厂商参与、帮助开发这项技术。

2012年10月，在政府许可下，ASML斥资19.5亿欧元（25亿美元）收购美国顶级光源企业Cymer，其主要制造激光器，这加速了ASMLEUV光刻机的研发之路。

由于有台积电、英特尔的支持，经过十年的研发过程，2015年，ASML终于将EUV光刻工艺处于可量产的状态。

随后的5年时间里，尼康失去了50%以上的光刻机市场份额。

雷吉梅克表示，在EUV这个技术领域中，ASML拥有大量受保护的专利和知识产权，并且可以发明和创造光刻机机器，这让ASML将处于长期技术垄断地位。

截至目前，ASML公司拥有三家全资子公司，包括计算光刻集成电路厂商Brion、准分子激光源提供商Cymer、电子束晶圆检测设备厂商HermesMicrovision，在先进光刻机技术方面独步成霸。

2、ASML成功秘籍——倾听客户意见

雷吉梅克在锐对话中指出，其实当时尼康、佳能、英特尔对外界的态度十分“傲慢”，加上日本、IBM等企业无视浸润式技术，让台积电不得不选择ASML，从而推动快速芯片制造的研发进程。

当蚕食掉市场份额的时候，ASML并没有像竞争对手那样傲慢和无视，更多希望倾听客户意见，将技术不断升级打磨，得到客户的青睐。

不过，在资金补助部分，雷吉梅克认为，尽管ASML一直处于政府支持状态，但也有中国企业不需要政府补助，都独立生存下来，因此，这并不意味着更多企业效仿ASML的崛起之路。