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出二手半导体设备NIKON NSR 2205 I11C光刻机

在二手半导体设备的流转中,龙玺精密涉及的NIKONNSR2205I11C光刻机,是光刻领域里颇具实力的“老将”,凭借硬核技术参数和稳定表现,持续为半导体制造添砖加瓦一、设备核心定位NIKONNSR2205I11C属于步进式光刻机,在半导体芯片制造的光刻工序中,负责将掩模版上的电路图案精准转移到晶圆表...

在二手半导体设备的流转中,龙玺精密涉及的NIKONNSR2205I11C光刻机,是光刻领域里颇具实力的“老将”,凭借硬核技术参数和稳定表现,持续为半导体制造添砖加瓦一、设备核心定位NIKONNSR22......

在二手半导体设备的流转中,龙玺精密涉及的NIKONNSR2205I11C光刻机,是光刻领域里颇具实力的“老将”,凭借硬核技术参数和稳定表现,持续为半导体制造添砖加瓦

一、设备核心定位

NIKONNSR2205I11C属于步进式光刻机,在半导体芯片制造的光刻工序中,负责将掩模版上的电路图案精准转移到晶圆表面,是实现芯片从设计蓝图到微观电路实体化的关键设备,为芯片功能实现筑牢基础。

二、核心技术参数与功能

光源与分辨率:采用i-line光源,波长365nm,数值孔径()达0.52,可实现0.35μm的分辨率,能够满足多种成熟制程芯片的光刻需求,在晶圆上“绘制”出精细的电路图案️

晶圆适配:支持4英寸-12英寸晶圆,无论是化合物半导体、MEMS(微机电系统)器件,还是逻辑芯片、存储芯片制造所需的晶圆,它都能游刃有余地处理,应用场景十分广泛

对准与曝光:配备先进的激光扫描对准(LSA)系统,对准精度可达±60nm,确保图案转移的精准度;曝光视场为25mm×33mm,曝光倍率4:1,在保证光刻质量的同时,兼顾生产效率,助力产线高效运转

光学系统:高品质光学镜头组有效减少像差,保证投影图像清晰、均匀,让光刻图案准确无误地复制到晶圆表面,为芯片制造的高精度要求提供保障。

三、应用场景与设备价值

NIKONNSR2205I11C光刻机适用于280nm及以上成熟制程芯片生产,在集成电路、传感器芯片等产品制造过程中发挥重要作用。作为二手设备,它以可靠的性能和相对较低的成本,成为中小晶圆厂、科研机构开展芯片研发与生产的优选,持续在半导体产业中创造价值,推动技术创新与产业发展



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