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二手半导体设备NIKON NSR S204B分步投影光刻机出售

龙玺精密作为国内领先的二手半导体设备供应商,为您推荐NIKONNSRS204B分步投影光刻机。尼康凭借数十年光学技术积淀,让这款设备成为中高端半导体制造的核心利器。其技术亮点显著:采用248nmKrF准分子激光光源,搭配0.63数值孔径的投影光学系统,分辨率达0.18μm,像差校正技术确保图案边缘锐...

龙玺精密作为国内领先的二手半导体设备供应商,为您推荐NIKONNSRS204B分步投影光刻机。尼康凭借数十年光学技术积淀,让这款设备成为中高端半导体制造的核心利器。其技术亮点显著:采用248nmKrF......

龙玺精密作为国内领先的二手半导体设备供应商,为您推荐NIKONNSRS204B分步投影光刻机。尼康凭借数十年光学技术积淀,让这款设备成为中高端半导体制造的核心利器。

其技术亮点显著:采用248nmKrF准分子激光光源,搭配0.63数值孔径的投影光学系统,分辨率达0.18μm,像差校正技术确保图案边缘锐利。高精度对准系统将晶圆与掩模版对准精度控制在0.04μm内,保障多层光刻精准叠加。

NIKONNSRS204B分步投影光刻机

NIKONNSRS204B分步投影光刻机

NIKONNSRS204B分步投影光刻机

NIKONNSRS204B分步投影光刻机

性能上,8英寸晶圆每小时处理超100片,优化的传输与曝光流程提升量产效率。工艺重复性误差±2%,兼容正/负性光刻胶及硅、SiC等晶圆,满足多元生产需求。

应用广泛,在逻辑芯片制造中助力7nm及以上制程,提升运算速度;用于存储芯片可提高存储密度;制造功率半导体时保障器件耐压性;还能提升传感器芯片性能。某企业引入后,良率从85%升至92%,效率提高30%。

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